把滞留在物体表面的主要力是伦敦-范德威尔力，这是一种分子间的力。静电也是将粒子吸附在表面的一种力。静电力在不同的洁净室其大小也不同，并与洁净室中使用的建筑材料息息相关。第三种力是对洁净室进行湿法清洁后出现的，湿法清洁后残留在表面上的粒子会变得干燥，而清洗液干燥之后的残留物质，就会将干燥的粒子粘在物体表面上。

把滞留在物体表面的主要力是伦敦-范德威尔力，这是一种分子间的力。静电也是将粒子吸附在表面的一种力。静电力在不同的洁净室其大小也不同，并与洁净室中使用的建筑材料息息相关。第三种力是对洁净室进行湿法清洁后出现的，湿法清洁后残留在表面上的粒子会变得干燥，而清洗液干燥之后的残留物质，就会将干燥的粒子粘在物体表面上。

在清洁中如果使用水溶液，则溶于水的粒子就会溶解在水溶液中。如果使用酒精这样的溶液，则有机物就会被溶解，其粒子就会被溶液所清除。但是，洁净室中的大部分粒子是不溶的，所以就必须克服将粒子吸附于表面上粘着力。如果象湿性真空清洁那样将粒子浸入液体中，或者是用湿抹法、湿拖擦法进行清洁，就可以溶解表面干燥后残留下的、将粒子粘在表面的物质。如果使用的是水基清洗剂，就可以把伦敦-范德威尔力与静电力降低或者去除掉。然后就可以通过抹试，拖擦以及真空吸尘法，将粒子从表面移走。

清洁洁净室常用的方法有：

1、真空法（湿法或干法）

2、湿擦拭（拖擦或湿擦拭）

3、用粘轮粘

这些洁净方法的效率与所擦试之表面的实际情况息息相关。如果表面粗糙或凹凸不平。那么清除这些位置上的粒子就较为困难。所以，洁净室的内表面要光滑。

（1）真空吸尘法

清洁洁净室使用的真空吸尘方法有两种类型：湿法和干法。干真空吸尘法用真空喷嘴的喷射气流来克服粒子表面的附着力，从而将粒子从表面清走。但气流速度还不足以将小粒子也清走。

对干真空吸法清除粒径粒子胡效率，我在一块玻璃的表面做了一个实验。实验结果见图21.1

在一个布满粒子的玻璃表面，一个工业用真空吸尘器的吸嘴在向前推进。可以看得见，大多数100um以上的粒子被清除了。但10um的粒子仅仅清除掉了25%。这个实验说明存在于表面上的大多数粒子无法用干真空吸尘法清除，而图内的经验也证实了这一点。有多少人能同意仅用真空吸尘法清洁乙烯地板就可以了？在很短的时间里，浅颜色的厨房就会变得相当脏了。

水与溶剂的粘度比空气要高得多。所以，液体对附着于表面上的粒子的拖拽力大得多。因此，当使用湿法真空系统时，其额外的拖拽力会大大增加抽集粒子的效率。

（2）湿擦拭法

使用抹布或拖布加上液体对洁净室表面进行湿擦拭，是清洁洁净室表面的有效方法。其所使用的液体可以破坏粒子与表面的附着力，从而使粒子脱离开表面。使用表面活性剂时尤其如此。但有很多粒子在使用这类液体后仍然会附着在表面，所以还必须借助拖布或抹布中的纤维推动粒子，使其与表面分离。粒子从表面清除掉之后，就滞留在抹布中，湿抹布清除粒子的效率比干抹布高，因为液体溶剂中存在着的拖拽力要大得多。

有些抹布或拖布的清洁效率更高。抹布或拖布是靠推动或拖拽粒子进行清洁并清除粒子的，所以细纤维材料做成的抹布或拖布比块状固体材料的抹布清洁效率更高。

（3）粘轮

“粘”轮清除粒子的效率取决于滚轮表面粘力的大小。滚轮表面的粘力越大，清除的粒子越多。其它的一些因素，例如滚轮表面的柔软性，也会影响清除效率。因为良好的表面柔性可使滚轮与粒子表面接触更好，